膜科学与技术

退火工艺对钛酸锶钡铁电多层膜结构与物性的影响

作者：魏坤¹，张续辰¹，洪学鹍²

单位： 1. 昆明理工大学信息工程与自动化学院，昆明 650500；2. 昆山科技局，昆山 215300

关键词：钛酸锶钡；铁电多层膜；溶胶凝胶方法；退火工艺

出版年,卷(期):页码： 2014,34(6):51-55

摘要：

本文立足于无铅型钛酸锶钡（BST）铁电多层膜的制备及物性研究。采用溶胶－凝胶方法制备了Ba0.9Sr0.1TiO3铁电多层膜，并利用快速退火炉对多层膜进行热处理。重点分析两种不同热处理工艺对钛酸锶钡多层膜微观结构及相关物理性能的影响。通过X射线衍射（XRD）,扫描隧道显微镜（SEM）及可见光范围反射谱测量等的表征方法，研究钛酸锶钡铁电多层膜微观结构的演化和形成机理，为制备性能优良的钛酸锶钡铁电多层膜提供基础数据。

Research on the fabrication and physical properties of ferroelectric multilayer was made based on lead-free barium strontium titanate (BST). The BST multilayer was prepared by sol-gel technique and then annealed by rapid thermal processing. The influence of two different annealing processes on the microstructure and related physical properties was mainly analyzed. The microstructure evolution and forming mechanisms of BST multilayer were explored by X-ray diffraction (XRD), scanning electron microscope (SEM), reflectance measurement in the range of visible light and other characterizing methods, which provided fundamental data for the fabrication of BST multilayers with excellent performance.

魏坤(1989-)，男，江苏徐州人，硕士研究生，研究方向为多传感器及阵列信号处理

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